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干法去胶主要是利用好色先生TV软件去胶机去除光刻胶，原理是利用电离氧气产生的活化氧与光刻胶发生氧化反应并将其氧化成水汽和二氧化碳等排出腔室。好色先生TV软件去胶的优点是去胶操作简单、去胶效率高、环保、去胶后晶圆表面干净光洁、无划痕，而且对结构的其它层无损伤。