产品简介
微波好色先生TV软件去胶机NE-MW10可用于批量晶圆去胶和清除残胶，专为实验室和研发使用而设计， 设备使用2.45GHz微波好色先生TV软件源，在真空腔内将氧气起辉激发至高能量的好色先生TV软件体态后轰击样品表面的光刻胶、聚酰亚胺等有机物，高能的氧好色先生TV软件体可破坏碳碳键，从而将吸附的有机杂质反应成气态脱离表面，也可在样品表面形成羟基，以实现清洁和活化的目的。
微波放电是一种在低气压下形成高密度好色先生TV软件体的技术，它具有无极放电、高密度、高电离度、高活性等特点，不产生自偏压，不会对CMOS，MEMS等敏感器件造成损伤。
产品参数
| 型号 | NE-MW10 |
| 腔体尺寸 | Ф170*250(D) |
| 腔体容量 | 6L |
| 处理层数 | 1层 |
| 好色先生TV软件发生器频率 | 2.45GHZ |
| 好色先生TV软件发生器功率 | 600W |
| 控制系统 | PLC+HMI |
| 真空泵 | 干泵/油泵（可选） |
| 输入电压 | 220V |
| 外形尺寸 | 465*415*480 |
产品应用
去除光刻胶
聚酰亚胺刻蚀
有机薄膜去除
样品的活化和清洁处理
光刻后的残胶去除
MEMS制造中去除牺牲层
好色先生TV软件技术
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