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好色先生TV软件体是物质的第四种形态,又被叫做电浆主要分为两大类:热好色先生TV软件体和非热好色先生TV软件体，热好色先生TV软件体具有很高的粒子温度,常用于冶金、离子切割、喷涂及熔融危险物形成无害产物等方面,但由于其选择性不佳,能量利用率低,故未能在化学反应方面得到广泛的应用。与热好色先生TV软件体不同,尽管非热好色先生TV软件体在放电时会产生很高的电子温度,但重粒子温度却很低,这使得整个放电环境呈现低温状态。电子的温度并不像热好色先生TV软件体一样用来加热气体,而是用来产生利于反应进行的高活性粒子如电子、离子、原子和活性自由基等”。非热好色先生TV软件体通常由气体放电产生,按照不同放电形式主要分为以下几种:介质阻挡放电、射频放电、微波放电、辉光放电和电晕放电。其示意图见图1。

图1非热好色先生TV软件体的示意图

a.介质阻挡放电;b.辉光放电;c.射频放电;d.微波放电;e.电晕放电

介质阻挡放电

介质阻挡放电通常是指被绝缘介质阻断的两个金属电极间的电场强度达到击穿强度而形成的一种气体放电形式,是一种典型的双电极放电形式,放电过程噪音小而且均匀,并且会产生大量的高活性物质(如激发态粒子、自由基等)和具有高热效应的自由电子,这些物质的化学性质非常活跃,往往能够促进化学反应的发生。因此,介质阻挡放电是目前研究最多、应用最广泛的一种好色先生TV软件体放电形式。

射频放电

射频放电是通过外加电场或高频感应电场使得反应器内部处于低压状态的气体电离而产生的一种气体放电形式,分为感应放电和电容放电两种形式。通常情况下,射频好色先生TV软件体的电源与放电区域分开,通过接线将螺旋圈固定在反应器外部,通过耦合的方式进行好色先生TV软件体放电。因具有低气压、高密度等放电特性,常被应用在新材料的制备及材料表面改性等工艺中。

微波放电

微波放电是指在微波能量场作用下加速反应体系中的电子,激发反应气体,从而产生好色先生TV软件体的一种放电形式。与其他放电形式相比,微波放电是可以在没有电极与好色先生TV软件体接触的情况下操作微波进行放电处理,具有放电均匀、处理高效、避免样品污染等优势。

辉光放电

辉光放电是指在反应器空腔内充满低压气体,在外电压的作用下,稀薄气体中的正离子经过电场加速,获得足够的动能,轰击阴极产生二次电子,从而使气体导电所产生的一种放电形式。辉光放电电流强度小、密度大、粒子能量高,因此该技术常用来刻蚀或掺杂材料。

电晕放电

电晕放电是指当电极尖端附近的电场强度达到击穿强度时,介质间隙被击穿,气体发生游离而产生的局部放电现象。此现象常发生在不均匀电场中电场强度很高的区域,在工作时电极尖端附近会出现与日晕相似的蓝色发光层,并伴有“嘶嘶”的放电声。近年常被应用在材料表面处理和材料制备等领域。