产品简介
微波好色先生TV软件清洗机,设备结构由五部分组成:外壳框架系统、微波放电系统、真空系统、供气系统和控制系统。该设备控制方式为工控机+PLC,操作方式包括自动模式和手动模式,在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理,可同时存储50组不同的配方。设备设计有工作气体耗尽报警、压缩空气压力低于设定值报警、泵热过载报警、反应仓泄露率过大报警等安全功能。
微波好色先生TV软件清洗作为一种绿色无污染的高精密干法清洗方式,可以有效去除表面污染物,避免静电损伤。微波好色先生TV软件清洗与低频或射频放电产生的好色先生TV软件体相比,相对于前两者,微波好色先生TV软件清洗机的优点在于:(1)无内部电极,可避免放电污染,能量转换效率高,可产生大范围的高密度好色先生TV软件体;(2)无损伤工艺,自偏压极小;(3)高电子密度,制备各种功能薄膜材料的速率较快;(4)离子冲击小,对器件的损伤小;(5)不产生紫外线辐射。
正是因为具有以上优点,微波好色先生TV软件在一些工艺中具有不可替代性,例如一些电敏感器件制程中的去胶和清洗。由于激发频率高,离子动能小,化学好色先生TV软件作用在微波好色先生TV软件中占主要部分,可以实现更均匀有效地清洗,在清洗中没有物理好色先生TV软件体所产生的物理冲击和溅射现象,在高可靠性要求的器件尤其是敏感电路的制程清洗过程中,微波好色先生TV软件清洗机成为关键首选的设备。
产品参数
型号 | NE-MP80 |
外形尺寸 | 1000(L)×900(W)×1900(H)mm |
腔体尺寸 | 400(L)×500(W)×400(H) |
好色先生TV软件体发生器 | 频率2.45GHz,功率0-1000W可调 |
腔体材质 | 航空铝合金 |
电极规格 | 底部装有可旋转托盘,仓体右侧安装陶瓷基板,用于扩散微波 |
真空系统 | 双级真空泵,进口气动角阀、充气阀,高精度真空计 |
气路系统 | 标配三路工艺气体,带质量流量计,气体流量0-200ml/min可调 |
控制系统 | 触摸屏+PLC全自动控制,手动+自动两种操作模式 |
输入电压 | 380V |
产品应用
光刻胶底膜去除
氧化物还原
表面有机污染物去除
表面活化改性
封装键合前清洗
表面亲水性提升
好色先生TV软件技术
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