产品简介
NE-Q05H小型好色先生TV软件体清洗仪整套系统包括真空仓、射频发生器、真空泵以及进排气口。处理器为电容耦合外电极型，处理室为圆筒形石英玻璃。好色先生TV软件体放电系统为200W高频振荡电源，电源频率13.56MHz，为了保证电源有效地供给放电功率，在电源与放电电极间配有阻抗匹配器。此设备处理器采用外电极式，即放电能量从处理器外部施加，可以避免电极的腐蚀和反应物在极板沉积的问题。
产品参数
| 型号 | NE-Q05H |
| 频率 | 13. 56 MHz 固态射频电源 |
| 功率 | 200W |
| 腔体材质 | 石英耐热玻璃 |
| 腔体容积 | 5L |
| 腔体尺寸（圆形） | Φ150×280（D）mm |
| 气体流量控制器 | MFC 质量流量控制器， 0-300sccm |
| 气路数量 | 2 路气体，支持氧气，氩气等（如需接入腐蚀性气体，提前告知） |
| 真空测定系统 | 皮拉尼真空硅管 |
极限真空度 | 1Pa |
| 控制方式 | PLC+4.3寸触摸屏 |
| 电源供应 | 220V |
| 外形尺寸 | 548mm(L)×588mm(W) ×617 mm(H) |
产品应用
表面亲疏水改性
提升材料表面能
改变材料表面形貌
引入特殊的官能团
PDMS键合
提高粘接性能
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